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    3D激光共聚焦顯微鏡OLS5000

    簡要描述:

    • 產品特點
    • 技術規格
    • 應用領域

      LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學系統(彩色成像光學系統和激光共焦光學系統)讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

      LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡有4大關鍵價值:

      • 捕捉任意表面形狀。

      • 快速獲得可靠數據。

      • 使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。

      • 測量具有挑戰性的樣品。

      價值1:捕捉任意表面形狀。

       

      OLS5000顯微鏡的先進技術使其能夠進行高分辨率的3D樣品測量。

      價值2、快速獲得可靠數據

      該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質量又可提高速度,從而縮短您的掃描時間,簡化您的工作流程,最終實現生產力的提升。

      價值3、使用簡單,只需放置樣品并按一下按鈕即可

      LEXT? OLS5000顯微鏡具有自動數據采集功能,因而無需進行復雜的設置調整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準確的檢測結果。

      價值4、可測量具有挑戰性的樣品

      低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備??梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品,而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時,您只需將樣品放在載物臺上即可。

      [獲取彩色信息]
      彩色成像光學系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
      [獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
      激光共焦光學系統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規則性。

      [405納米激光光源]

      光學顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統顯微鏡具有更優的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得卓越的橫向分辨率。

      [激光共焦光學系統]

      激光共焦光學系統僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

      [X-Y掃描儀]

      OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的卓越X-Y掃描。

      [高度測量原理]

      在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
      根據非連續的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個像素的光強變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應,因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像(擴展圖像)。


      主機規格:

      型號OLS5000-SAFOLS5000-SMFOLS5000-LAFOLS5000-EAFOLS5000-EMF


      總倍率54x - 17,280x


      視場直徑16 μm - 5,120 μm


      測量原理光學系統反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
      反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡
      彩色
      彩色DIC



      光接收元件激光:光電倍增管(2ch)
      色彩:CMOS 彩色相機



      高度測量顯示分辨率0.5 納米


      動態范圍16 位


      可重復性 n-1 *1 *2 *620x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
      精度 *1 *3 *6測量值 +/- 1.5%


      拼接圖像精度 *1 *4 *620x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])


      測量噪聲(SQ 噪聲)*1 *5 *61 納米


      寬度測量顯示分辨率1 納米


      可重復性 3 n-1 *1 *620x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm


      精度 *1 *3 *6測量值 +/- 1.5%


      拼接圖像精度 *1 *3 *620x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])


      單次測量時測量點的最大數量4096 x 4096 像素


      測量點的最大數量3600 萬像素


      XY 載物臺配置長度測量模塊??


      工作范圍100 x 100 mm 電動

      100 x 100 mm 手動

      300 x 300 mm 電動100 x 100 mm 電動100 x 100 mm 手動


      最大樣品高度100 mm30 mm30 mm210 mm140 mm


      激光光源波長405 nm



      最大輸出0.95 mW



      激光分類2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)



      彩色光源白光 LED


      電氣功率240 W240 W278 W240 W240 W


      質量顯微鏡主體約 31 公斤約 30 公斤約 50 公斤約 43 公斤約 39 公斤


      控制器約 12 公斤


       


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